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表面污染雜質(zhì)分析——復達客戶檢測案例
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677 客戶背景
2021年12月，某公司委托我們對他們生產(chǎn)的陶瓷塊進行表面分析，判斷是否被污染，經(jīng)過和客戶溝通之后，提供了解決方案，做二次離子質(zhì)譜和sem的點掃進行識別判斷，判斷了表面污染的離子情況，并且經(jīng)過后續(xù)溝通，再繼續(xù)做ICPMS，進而判斷佐證里面還有的金屬雜質(zhì)元素含量情況。
樣品名稱
sic陶瓷塊
客戶需求
進行表面污染雜質(zhì)分析。
解決方案
1.1、SIMS測試
分析原理：飛行時間-二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS），是一種非常靈敏的表面分析技術(shù)。它利用一次離子激發(fā)樣品表面微量的二次離子，根據(jù)二次離子飛行到探測器的時間不同來測定離子質(zhì)量。由于TOF-SIMS中離子飛行時間只依賴于它們的質(zhì)量，故其一次脈沖就可得到一個全譜，離子利用率很高，能實現(xiàn)對樣品幾乎無損的靜態(tài)分析。一次離子將其部分能量傳遞給晶格原子，這些原子中有一部分向表面運動，并把能量傳遞給表面離子使之發(fā)射，這種過程成為粒子濺射。電離的二次粒子（濺射的原子、分子和原子團等）按質(zhì)荷比實現(xiàn)質(zhì)譜分離。
結(jié)果分析：對樣品表面進行300*300um進行SIMS正模式、負模式掃描測試，得到結(jié)果如下：
1.2、SEM點掃測試：
采用掃描電子顯微鏡對圓片表面進行點掃測試，測定其表面元素的種類含量
（備注：SEM點掃結(jié)果是相對定量，不是絕對定量，可以做對比分析來看）。
客戶反饋
和客戶講解了測試原理，客戶對結(jié)果也很滿意，有助于他們做后續(xù)研究。
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